Elektronenquelle

• Typ: X-FEG
• Beschleunigungsspannung: 200 kV
  Richtstrahlwert: 1.8 x 109 A cm-2 sr-1 (bei 200 kV)

Beleuchtung

• 2-Kondensorlinsen-System

Abbildung

• Objektiv: A-Twin-Linse
• TEM-Informationslimit: 0.12 nm
• TEM-Punktauflösung: 0.25 nm
• STEM-HAADF-Auflösung: 0.16 nm

Kameras und Detektoren

• 16-Megapixel CMOS-Kamera (FEI Ceta 16M) für TEM
• Großwinkeldunkelfelddetektor (HAADF) für STEM
• On-Axis Hellfeld-/Dunkelfeld-Detektor (BF/DF) für STEM

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDXS)

• Super-X-System (4 SDD symmetrisch)
• effektiver Raumwinkel: 0.9 sr
• Energieauflösung: 136 eV (Mn-Kα, 10 kcps)
• Elementnachweis für Z ≥ 5

Probenhalter

• Einfachkipphalter
• Low-Background-Doppelkipphalter mit Be-Hex-Ring
• High-Visibility-Low-Background-Doppelkipphalter mit SoftLoc (Mo or Bronze) optimiert für minimale EDXS-Abschattung
• In-situ Einfachkipphalter zur mechanischen Dehnung (Gatan, Modell 654 mit Accutroller Modell 902)